ミリオンガイド
ミリオンステージ MSZFシリーズ
ミリオンステージは独自のアイデアにより、超高速・高剛性を実現!! タクトタイム短縮に大きく貢献します。 カタログ仕様以外も、お気軽にお問い合わせください。
- 超高速位置決め
モーター直結カム駆動方式で最大100mm/sec - 高剛性・高精度
ローラーガイド方式ミリオンガイド搭載。X・Y方向繰り返し精度±1.5µm以下。 - コンパクト設計
モーター機内配置により外部へのモーター飛び出し無し。
構造・特長
真直性の高いミリオンガイド採用で、X・Y方向繰り返し精度±1.5µm以下！！
ミリオンステージは「超高速」「高剛性」「高精度」の三位一体です。
駆動方式
モーター直結カム駆動方式を採用。驚異的な高速位置決めを実現。（最大100mm/sec)
コンパクト形状
ミリオンステージはモーターを機内に配置。外部へのモーター飛び出しが無く、スペースを有効に使えます。
また、上・下限リミットおよび原点センサも内蔵。
精密カム
独自の技術により精密研削されたカムを採用することにより、安定した精度位置決めが可能。
ガイド方式
高精度・高剛性ローラー方式ガイド「ミリオンガイド」を4本使用。剛性と滑らかさの両立に成功。
高精度アクチュエータ
（株）ハーモニック・ドライブ・システムズ様の超扁平・高精度ACサーボアクチュエータ、FHA-Cminiシリーズを搭載。 小型ながら、高出力・高精度を達成。
用途例
・各種検査、測定用位置決め装置
・半導体関連製造装置
・太陽光パネル関連製造装置
・各種ボンディング装置 など
製品の呼称（型式）
ラインナップ／標準仕様
軽くてコンパクトな軽量タイプと、真直性の高い高精度タイプの2種類を標準で用意しました。
寸法図／寸法表
PDF形式の特注問い合わせシートをご用意しています。
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ミリオンステージ MSZFシリーズ 特注問い合わせシート
