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サーボプレスユニット
サーボプレスユニット:ナノサーボプレス
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ナノレベルでの送り制御が可能な超精密サーボプレス。
- 最大加圧力:
- 5000N
- センサーストローク:
- 100mm
- 機械ストローク:
- 130mm
特長
- 繰返し位置決め精度:±50nm(ナノメートル)と超精密なサーボプレスです。
- リニアスケールによるクローズドループ制御により、超微細送りを実現しました。
送り速度:620nm/sec. - ナノサーボプレスとロードセルとの組み合わせにより、極低圧制御が可能(オプション)。
用途
- ディスク製造装置
- 圧入
- インプリント装置
- カシメ
- 臨界試験装置
- ハーフカット
- 電子部品の封止
- 打ち抜き
